一种电子元件生产的光刻装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720725537.3

申请日：

2017-06-21

公开(公告)号：

CN207008285U

公开(公告)日：

2018-02-13

发明(设计)人：

徐月苗

申请人：

申请人地址：

311800 浙江省绍兴市诸暨市陶朱街道文种路15号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

濮阳华凯知识产权代理事务所(普通合伙) 41136

代理人：

王传明

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-13	授权	授权
2019-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20170621 授权公告日:20180213 终止日期:20180621

共 50 条

[1]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

伍家成 .

中国专利 :CN210776186U ,2020-06-16

[2]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

文连兵 .

中国专利 :CN208937911U ,2019-06-04

[3]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

唐顺军 .

中国专利 :CN108663912A ,2018-10-16

[4]

用于电子元件加工的光刻装置 [P].

温景文 .

中国专利 :CN209606773U ,2019-11-08

[5]

一种光电子元件制造的光刻装置 [P].

王浩鹏 .

中国专利 :CN212873187U ,2021-04-02

[6]

一种电子元件生产用码放装置 [P].

徐安静 .

中国专利 :CN213010842U ,2021-04-20

[7]

一种光电子元件制造的光刻装置 [P].

何玉兵 .

中国专利 :CN214954513U ,2021-11-30

[8]

一种电子元件的排列装置 [P].

韩华 .

中国专利 :CN211034249U ,2020-07-17

[9]

一种电力电子元件生产用焊接装置 [P].

屈波 ;

袁传霖 ;

何开尧 .

中国专利 :CN218253537U ,2023-01-10

[10]

一种电子元件生产烘干装置 [P].

王哲 ;

谢宇航 ;

张天雨 ;

蒋广隶 .

中国专利 :CN223064243U ,2025-07-04

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