一种电子元件生产的光刻装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810443659.2

申请日：

2018-05-10

公开(公告)号：

CN108663912A

公开(公告)日：

2018-10-16

发明(设计)人：

唐顺军

申请人：

申请人地址：

545000 广西壮族自治区柳州市福馨路12号柳州天步创业园7号楼4楼412号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京智客联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11700

代理人：

杨群

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-10-16	公开	公开
2018-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20180510
2021-07-16	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20181016

共 50 条

[1]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

徐月苗 .

中国专利 :CN207008285U ,2018-02-13

[2]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

伍家成 .

中国专利 :CN210776186U ,2020-06-16

[3]

一种电子元件生产的光刻装置 [P].

文连兵 .

中国专利 :CN208937911U ,2019-06-04

[4]

一种光电子元件制造的光刻装置 [P].

王浩鹏 .

中国专利 :CN212873187U ,2021-04-02

[5]

用于电子元件加工的光刻装置 [P].

温景文 .

中国专利 :CN209606773U ,2019-11-08

[6]

一种电子元件生产用裁切装置 [P].

周国辉 ;

王静 ;

冯如月 .

中国专利 :CN221517980U ,2024-08-13

[7]

一种电子元件生产用储存装置 [P].

刘勇环 .

中国专利 :CN209852857U ,2019-12-27

[8]

一种电子元件焊接夹持装置 [P].

蒋从元 .

中国专利 :CN211939584U ,2020-11-17

[9]

一种光电子元件制造的光刻装置 [P].

何玉兵 .

中国专利 :CN214954513U ,2021-11-30

[10]

一种电子元件生产用胶水搅拌装置 [P].

蒋志强 .

中国专利 :CN112354412A ,2021-02-12

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