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一种晶圆片表面杂质污染程度检测系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110099524.0
申请日：
2021-01-25
公开(公告)号：
CN113161253B
公开(公告)日：
2021-07-23
发明(设计)人：
刘波
申请人：
申请人地址：
266000 山东省青岛市高新区河东路383号
IPC主分类号：
H01L2166
IPC分类号：
代理机构：
北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357
代理人：
杨敬
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-07-23 | 公开 | 公开 |
| 2022-11-22 | 授权 | 授权 |
| 2021-08-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210125 |
| 2022-11-11 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/66 登记生效日:20221101 变更事项:申请人 变更前权利人:上海磬采电力科技开发有限公司 变更后权利人:青岛华芯晶电科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:201100 上海市闵行区平阳路258号1层 变更后权利人:266000 山东省青岛市高新区河东路383号 |