能改善应力的金刚石膜层结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720068438.2

申请日：

2017-01-19

公开(公告)号：

CN206477030U

公开(公告)日：

2017-09-08

发明(设计)人：

龚闯吴剑波朱长征余斌

申请人：

申请人地址：

201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧

IPC主分类号：

C23C2800

IPC分类号：

C23C1627

代理机构：

上海精晟知识产权代理有限公司 31253

代理人：

冯子玲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-09-08	授权	授权
2021-09-14	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 28/00 变更事项:专利权人变更前:上海征世科技有限公司变更后:上海征世科技股份有限公司变更事项:地址变更前:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧变更后:201799 上海市青浦区华浦路500号2幢西侧

共 50 条

[1]

具有凹槽结构的金刚石膜 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN206477024U ,2017-09-08

[2]

一种MPCVD金刚石膜基片 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN209178474U ,2019-07-30

[3]

一种利于均衡金刚石薄膜内应力的膜结构 [P].

左浩 ;

李升 ;

刘宏明 .

中国专利 :CN208501093U ,2019-02-15

[4]

复式金刚石层切削齿 [P].

江晓乐 .

中国专利 :CN2846705Y ,2006-12-13

[5]

互嵌结构的CVD金刚石膜片 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN206477031U ,2017-09-08

[6]

多孔金刚石膜的制造 [P].

克拉马哈提·拉维 .

中国专利 :CN1957469A ,2007-05-02

[7]

具有金刚石膜或类金刚石膜的复合散热装置 [P].

刘小利 .

中国专利 :CN209623461U ,2019-11-12

[8]

生长有金刚石膜的基体结构及金刚石膜的制备方法 [P].

何斌 ;

邢豪杰 ;

黄江涛 ;

韩培刚 ;

林立宇 ;

张宗雁 .

中国专利 :CN119530966A ,2025-02-28

[9]

内置过渡层金刚石复合片 [P].

徐根 ;

徐国平 ;

陈枫 .

中国专利 :CN201209404Y ,2009-03-18

[10]

用于生长金刚石膜的基体结构及金刚石膜的制备方法 [P].

黄江涛 ;

刘富成 ;

何斌 ;

韩培刚 ;

林立宇 ;

张宗雁 .

中国专利 :CN119877098A ,2025-04-25

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