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一种芯片在线清洗设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010798944.3
申请日：
2020-08-11
公开(公告)号：
CN111921935B
公开(公告)日：
2020-11-13
发明(设计)人：
熊爱平
魏亨儒
申请人：
申请人地址：
518102 广东省深圳市宝安区西乡街道共乐社区共和工业路明月花都F栋1009
IPC主分类号：
B08B104
IPC分类号：
B08B302
B08B1300
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-13 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/04 申请日:20200811 |
| 2022-06-10 | 授权 | 授权 |