一种芯片清洗设备

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专利类型
实用新型
申请号
CN201820506855.5
申请日
2018-04-11
公开(公告)号
CN208093520U
公开(公告)日
2018-11-13
发明(设计)人
赵灵甫
申请人
申请人地址
211800 江苏省南京市浦口区浦滨路150号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
B08B104
代理机构
代理人
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
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