基于差动彩色共焦技术的自由曲面测量装置及检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011038837.7

申请日：

2020-09-28

公开(公告)号：

CN112197714B

公开(公告)日：

2021-01-08

发明(设计)人：

张宇

申请人：

申请人地址：

132012 吉林省吉林市船营区长春路169号

IPC主分类号：

G01B1124

IPC分类号：

G01B1100

代理机构：

吉林市达利专利事务所 22102

代理人：

陈传林

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-01-08	公开	公开
2022-09-30	授权	授权
2021-01-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20200928

共 50 条

[1]

法向跟踪后置分光瞳差动共焦自由曲面测量方法与装置 [P].

邱丽荣 ;

朱晓雪 ;

赵维谦 ;

王文彬 .

中国专利 :CN115420214A ,2022-12-02

[2]

基于法向跟踪的自由曲面差动共焦测量方法及装置 [P].

赵维谦 ;

倪赫 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN111288927A ,2020-06-16

[3]

基于共焦定焦法向量测量的自由曲面轮廓检测方法与装置 [P].

唐颖奇 ;

赵维谦 ;

邱丽荣 .

中国专利 :CN120668054A ,2025-09-19

[4]

自由曲面形貌双边错位差动共焦检测方法与装置 [P].

邱丽荣 ;

唐颖奇 ;

赵维谦 .

中国专利 :CN108267095B ,2019-12-17

[5]

基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统 [P].

明名 ;

宿馨文 ;

王建立 ;

陈涛 ;

宋士俊 .

中国专利 :CN111982027A ,2020-11-24

[6]

基于差动共焦传感器的薄膜厚度测量系统及方法 [P].

冯晓鹏 ;

王之一 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 ;

刘昌华 .

中国专利 :CN118654585A ,2024-09-17

[7]

基于差动共焦传感器的薄膜厚度测量系统及方法 [P].

冯晓鹏 ;

王之一 ;

王建立 ;

糜小涛 ;

李烁 ;

刘昌华 .

中国专利 :CN118654585B ,2024-11-19

[8]

后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置 [P].

赵维谦 ;

李荣吉 ;

邱丽荣 ;

王允 .

中国专利 :CN109520973A ,2019-03-26

[9]

基于柱透镜光路的线扫描差动共焦测量装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

唐建波 ;

李镁钰 .

中国专利 :CN102175143A ,2011-09-07

[10]

基于被测表面荧光激发的差动共焦显微测量装置 [P].

刘俭 ;

谭久彬 ;

王伟波 ;

张拓 .

中国专利 :CN103105143B ,2013-05-15

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