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工件缓存装置、设备前端模块及半导体设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201911167288.0
申请日：
2019-11-25
公开(公告)号：
CN110993530A
公开(公告)日：
2020-04-10
发明(设计)人：
侯文潭
李莉
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L21677
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-04-10 | 公开 | 公开 |
| 2020-05-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20191125 |