金刚石薄膜冷阴极结构及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN00107439.3

申请日：

2000-05-15

公开(公告)号：

CN1100163C

公开(公告)日：

2000-11-22

发明(设计)人：

陈光华张阳

申请人：

申请人地址：

100022北京市朝阳区平乐园100号

IPC主分类号：

C23C16513

IPC分类号：

代理机构：

北京工大思海专利代理有限责任公司

代理人：

张慧

法律状态：

实质审查请求的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2000-10-25	实质审查请求的生效	实质审查请求的生效
2005-07-13	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
2000-11-22	公开	公开
2003-01-29	授权	授权

共 50 条

[1]

金刚石薄膜及其制备方法 [P].

刘晓蕊 ;

何斌 ;

高新箐 ;

王术 ;

韩培刚 ;

张宗雁 ;

黄江涛 .

中国专利 :CN119753618A ,2025-04-04

[2]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[3]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[4]

一种纳米金刚石薄膜及其制备方法 [P].

杨彬 ;

雷乐成 ;

李浩 .

中国专利 :CN105755448A ,2016-07-13

[5]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[6]

金刚石薄膜及其制备方法及其应用 [P].

唐永炳 ;

王陶 ;

黄磊 ;

李星星 .

中国专利 :CN110699689B ,2020-01-17

[7]

一种掺杂结构金刚石薄膜及其制备方法 [P].

张习武 .

中国专利 :CN109913857A ,2019-06-21

[8]

金刚石薄膜的制造方法及金刚石薄膜制造装置 [P].

安藤瞭汰 ;

长町学 ;

辰巳夏生 .

日本专利 :CN120858197A ,2025-10-28

[9]

柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法与应用 [P].

史新伟 ;

姚宁 ;

李杏瑞 ;

张兵临 ;

程春晓 ;

柴士磊 ;

周秋霞 ;

靳慧智 .

中国专利 :CN102634793A ,2012-08-15

[10]

一种金刚石薄膜及其制备方法和应用 [P].

庄媛 ;

郭丽芳 ;

游雅芬 ;

卢心蕊 .

中国专利 :CN120776448B ,2025-11-14

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