用于沟槽的光学测量的目标

被引：0

申请号：

CN202180037337.8

申请日：

2021-04-16

公开(公告)号：

CN115668471A

公开(公告)日：

2023-01-31

发明(设计)人：

N·J·凯勒 G·A·安东内利

申请人：

申请人地址：

美国马萨诸塞州

IPC主分类号：

H01L2166

IPC分类号：

H10B4327 G01N2195 G01N21552

代理机构：

北京市汉坤律师事务所 11602

代理人：

魏小薇;吴丽丽

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-31	公开	公开
2023-02-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/66 申请日:20210416

共 50 条

[1]

用于测量目标物尺寸的光学测量仪 [P].

吴海龙 .

中国专利 :CN204461345U ,2015-07-08

[2]

用于光学测量至反射的目标物体的距离的设备 [P].

T·戈戈拉 ;

A·温特 .

中国专利 :CN107636483A ,2018-01-26

[3]

用于空间目标远近场光学特性测量的装置 [P].

孟刚 ;

南华 ;

薛莲 ;

周岩 ;

李亚男 ;

白文浩 ;

范小礼 ;

邓蓉 ;

水涌涛 ;

刘佳琪 ;

刘成国 ;

陈福泰 .

中国专利 :CN109459215B ,2019-03-12

[4]

用于光学测量的测量系统 [P].

L·托贝沙特 ;

C·格鲁伯 ;

T·维斯培特纳 .

德国专利 :CN113574345B ,2024-07-05

[5]

用于光学测量的测量系统 [P].

L·托贝沙特 ;

C·格鲁伯 ;

T·维斯培特纳 .

中国专利 :CN113574345A ,2021-10-29

[6]

一种用于测量目标物尺寸的光学测量仪 [P].

吴海龙 .

中国专利 :CN104567596A ,2015-04-29

[7]

光学测量装置和用于光学测量的方法 [P].

V·萨为普朗斯莱泊恩 ;

M·I·B·M·卡西姆 .

中国专利 :CN103327886A ,2013-09-25

[8]

光学杯（用于样品的光学测量） [P].

约翰·S·劳朵 ;

加尔·英贝尔 ;

威廉·G·阿特伯里 ;

托马斯·A·克劳辛 ;

戴夫·霍利 ;

约翰·泰拉瑞科 .

中国专利 :CN301344435S ,2010-09-08

[9]

用于光学测量系统的测量装置 [P].

T.赫尔德 ;

D.考夫曼 .

中国专利 :CN107883882B ,2018-04-06

[10]

用于执行光学测量的测量单元 [P].

安德烈亚斯·米勒 ;

汉斯·迈尔 ;

马蒂亚斯·格罗斯曼 .

德国专利 :CN118050060A ,2024-05-17

← 1 2 3 4 5 →