一种用于钨化学机械抛光的抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910198366.3

申请日：

2009-11-06

公开(公告)号：

CN102051126A

公开(公告)日：

2011-05-11

发明(设计)人：

王晨徐春

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-05	授权	授权
2017-12-22	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/306 申请日:20091106 授权公告日:20141105 终止日期:20161106
2012-10-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101333712435 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2009101983663 申请日:20091106
2011-05-11	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于抛光钨的化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN111378373A ,2020-07-07

[2]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

殷天亮 ;

许旭强 ;

董泽同 ;

王晨 .

中国专利 :CN114686108A ,2022-07-01

[3]

一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN116240550B ,2025-04-15

[4]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

史经深 ;

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN114686107A ,2022-07-01

[5]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

李星 ;

王晨 ;

史经深 .

中国专利 :CN114686109A ,2022-07-01

[6]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

何华峰 ;

王晨 ;

殷天亮 ;

许旭强 .

中国专利 :CN114686111A ,2022-07-01

[7]

一种抛光钨的化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN102816528A ,2012-12-12

[8]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

何华锋 ;

王晨 ;

史经深 ;

郁夏盈 ;

李星 ;

孙金涛 ;

顾钦源 .

中国专利 :CN114686106A ,2022-07-01

[9]

一种钨化学机械抛光液及其应用 [P].

王瑞芹 ;

王永东 .

中国专利 :CN119570371A ,2025-03-07

[10]

一种用于单晶硅化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法 [P].

陆斯文 ;

夏菁菁 ;

王占山 .

中国专利 :CN117736653A ,2024-03-22

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