一种用于钨抛光的化学机械抛光液

被引：0

申请号：

CN202011618408.7

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN114686107A

公开(公告)日：

2022-07-01

发明(设计)人：

郁夏盈史经深王晨何华锋

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C23F304

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

李星 ;

王晨 ;

史经深 .

中国专利 :CN114686109A ,2022-07-01

[2]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

何华峰 ;

王晨 ;

殷天亮 ;

许旭强 .

中国专利 :CN114686111A ,2022-07-01

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802A ,2021-06-22

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802B ,2024-04-12

[5]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

何华锋 ;

王晨 ;

史经深 ;

郁夏盈 ;

李星 ;

孙金涛 ;

顾钦源 .

中国专利 :CN114686106A ,2022-07-01

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113004801A ,2021-06-22

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004800A ,2021-06-22

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113004801B ,2024-03-12

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004800B ,2024-04-12

[10]

一种钨化学机械抛光液及其应用 [P].

韩翠婷 ;

崔晓坤 ;

王瑞芹 ;

卞鹏程 ;

卫旻嵩 ;

王庆伟 ;

徐贺 ;

李国庆 ;

王永东 .

中国专利 :CN115873507B ,2025-09-23

← 1 2 3 4 5 →