一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911329440.0

申请日：

2019-12-20

公开(公告)号：

CN113004802A

公开(公告)日：

2021-06-22

发明(设计)人：

郁夏盈王晨何华锋李星史经深

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

C23F306

代理机构：

北京大成律师事务所 11352

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	公开	公开
2022-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C09G 1/02 申请日:20191220

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004802B ,2024-04-12

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113004801A ,2021-06-22

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113004801B ,2024-03-12

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004800A ,2021-06-22

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN113004800B ,2024-04-12

[6]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

李星 ;

王晨 ;

史经深 .

中国专利 :CN114686109A ,2022-07-01

[7]

一种用于钨抛光的化学机械抛光液 [P].

郁夏盈 ;

史经深 ;

王晨 ;

何华锋 .

中国专利 :CN114686107A ,2022-07-01

[8]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

周靖宇 ;

荆建芬 ;

马健 ;

周文婷 ;

魏佳 ;

王曦 ;

李昀 ;

李瑾琳 ;

杨征 ;

王欣 ;

王乐 ;

唐浩杰 .

中国专利 :CN118256153A ,2024-06-28

[9]

一种化学机械抛光液及其用途 [P].

周靖宇 ;

马健 ;

荆建芬 ;

姚颖 ;

杨俊雅 ;

蔡鑫元 ;

宋凯 ;

汪国豪 ;

邱欢 ;

王正 ;

杨征 .

中国专利 :CN118256157A ,2024-06-28

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

李星 ;

王晨 ;

何华锋 ;

郁夏盈 ;

史经深 ;

孙金涛 .

中国专利 :CN113122140A ,2021-07-16

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