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晶圆测试装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201220193369.5
申请日：
2012-04-28
公开(公告)号：
CN202614804U
公开(公告)日：
2012-12-19
发明(设计)人：
王钊
田文博
尹航
申请人：
申请人地址：
214028 江苏省无锡市新区太湖国际科技园清嘉路530大厦10层
IPC主分类号：
G01R1073
IPC分类号：
G01R3101
代理机构：
无锡互维知识产权代理有限公司 32236
代理人：
戴薇
法律状态：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-05-03 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 | 专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):G01R 1/073 变更事项:专利权人 变更前:无锡中星微电子有限公司 变更后:无锡中感微电子股份有限公司 变更事项:地址 变更前:214028 江苏省无锡市新区太湖国际科技园清嘉路530大厦10层 变更后:214028 江苏省无锡市新区太湖国际科技园清嘉路530大厦10层 |
| 2012-12-19 | 授权 | 授权 |
| 2022-05-17 | 专利权的终止 | 专利权有效期届满 IPC(主分类):G01R 1/073 申请日:20120428 授权公告日:20121219 |