一种微波等离子体化学气相沉积设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020502825.4

申请日：

2020-04-09

公开(公告)号：

CN214060635U

公开(公告)日：

2021-08-27

发明(设计)人：

范杰黄翀

申请人：

申请人地址：

410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 H01P116

代理机构：

武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙) 42235

代理人：

李恭渝

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-27	授权	授权
2022-10-04	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/27 变更事项:专利权人变更前:长沙新材料产业研究院有限公司变更后:航天科工（长沙）新材料研究院有限公司变更事项:地址变更前:410205 湖南省长沙市岳麓区麓谷企业广场B8栋7楼变更后:410205 湖南省长沙市长沙高新开发区文轩路27号麓谷钰园B8栋首层东部、2层整层、7层整层、8层整层

共 50 条

[1]

一种微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

朱雨 ;

王海侠 .

中国专利 :CN104726850B ,2015-06-24

[2]

微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

刘文科 ;

李俊宏 ;

胡宗义 .

中国专利 :CN223705738U ,2025-12-23

[3]

一种微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

黄春林 ;

胡宗义 ;

刘文科 ;

吴丹 ;

李俊宏 .

中国专利 :CN220827462U ,2024-04-23

[4]

微波等离子体化学气相沉积设备(MPCVD) [P].

张俊生 ;

胡常青 .

中国专利 :CN308664259S ,2024-05-31

[5]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

朱铧丞 ;

杨阳 ;

黄卡玛 .

中国专利 :CN211947216U ,2020-11-17

[7]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522921U ,2019-10-22

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522920U ,2019-10-22

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN212505057U ,2021-02-09

[10]

一种微波等离子体化学气相沉积设备 [P].

黄春林 ;

刘文科 ;

冯智飞 ;

李俊宏 ;

季宇 .

中国专利 :CN114381718B ,2024-03-26

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