化学放大型抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810086570.1

申请日：

2008-03-20

公开(公告)号：

CN101271273A

公开(公告)日：

2008-09-24

发明(设计)人：

藤裕介高田佳幸

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈平

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001178005 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2008100865701 申请日:20080320
2008-09-24	公开	公开
2015-05-13	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101609138661 IPC(主分类):G03F 7/039 专利号:ZL2008100865701 申请日:20080320 授权公告日:20120627 终止日期:20140320
2012-06-27	授权	授权

共 50 条

[1]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

宫川贵行 ;

枝松邦茂 .

中国专利 :CN101206405A ,2008-06-25

[2]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

山本敏 ;

安藤信雄 .

中国专利 :CN101196687A ,2008-06-11

[3]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

山本敏 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101236357B ,2008-08-06

[4]

化学放大型抗蚀剂组合物以及浸液曝光用化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

畑光宏 ;

藤裕介 ;

宫川贵行 .

中国专利 :CN101546126A ,2009-09-30

[5]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

荒木香 .

中国专利 :CN101271272A ,2008-09-24

[6]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101261448A ,2008-09-10

[7]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

荒木香 ;

山口训史 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101211113B ,2008-07-02

[8]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566798A ,2009-10-28

[9]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566797A ,2009-10-28

[10]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

釜渊明 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101581882A ,2009-11-18

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