化学放大型抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810083427.7

申请日：

2008-03-05

公开(公告)号：

CN101261448A

公开(公告)日：

2008-09-10

发明(设计)人：

山口训史高田佳幸山本敏

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈平

法律状态：

发明专利申请公布后的驳回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-12	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101610617481 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2008100834277 申请公布日:20080910
2008-09-10	公开	公开
2010-04-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101001078226 IPC(主分类):G03F 7/039 专利申请号:2008100834277 申请日:20080305

共 50 条

[1]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

荒木香 .

中国专利 :CN101271272A ,2008-09-24

[2]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

荒木香 ;

山口训史 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101211113B ,2008-07-02

[3]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

山本敏 ;

安藤信雄 .

中国专利 :CN101196687A ,2008-06-11

[4]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

山本敏 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101236357B ,2008-08-06

[5]

化学放大型抗蚀剂组合物以及浸液曝光用化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

畑光宏 ;

藤裕介 ;

宫川贵行 .

中国专利 :CN101546126A ,2009-09-30

[6]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

高田佳幸 ;

宫川贵行 ;

枝松邦茂 .

中国专利 :CN101206405A ,2008-06-25

[7]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

末次益实 ;

山田爱理 ;

上谷保则 .

中国专利 :CN100342282C ,2003-04-02

[8]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

重松淳二 ;

枝松邦茂 ;

宫川贵行 ;

釜渊明 .

中国专利 :CN101614958A ,2009-12-30

[9]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

秋田诚 ;

吉田勋 ;

原田由香子 .

中国专利 :CN101334588A ,2008-12-31

[10]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

高田佳幸 .

中国专利 :CN101271273A ,2008-09-24

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