化学放大型正性抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN02132225.2

申请日：

2002-09-04

公开(公告)号：

CN100342282C

公开(公告)日：

2003-04-02

发明(设计)人：

末次益实山田爱理上谷保则

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府

IPC主分类号：

G03F7039

IPC分类号：

H01L21027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

陈长会

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-10-10	授权	授权
2022-09-20	专利权的终止	专利权有效期届满 IPC(主分类):G03F 7/039 申请日:20020904 授权公告日:20071010
2003-04-02	公开	公开
2004-08-18	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

重松淳二 ;

枝松邦茂 ;

宫川贵行 ;

釜渊明 .

中国专利 :CN101614958A ,2009-12-30

[2]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

末次益实 ;

秋田诚 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101192006A ,2008-06-04

[3]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

秋田诚 ;

吉田勋 ;

原田由香子 .

中国专利 :CN101334588A ,2008-12-31

[4]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566798A ,2009-10-28

[5]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

藤裕介 ;

重松淳二 ;

宫川贵行 ;

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN101566797A ,2009-10-28

[6]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

釜渊明 ;

山口训史 .

中国专利 :CN101581882A ,2009-11-18

[7]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

秋田诚 ;

吉田勋 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101329511B ,2008-12-24

[8]

化学放大型正性抗蚀剂组合物 [P].

秋田诚 ;

末次益实 ;

桥本和彦 .

中国专利 :CN101308328B ,2008-11-19

[9]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

荒木香 .

中国专利 :CN101271272A ,2008-09-24

[10]

化学放大型抗蚀剂组合物 [P].

山口训史 ;

高田佳幸 ;

山本敏 .

中国专利 :CN101261448A ,2008-09-10

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