直流放电离子源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810235184.8

申请日：

2018-03-21

公开(公告)号：

CN108281340A

公开(公告)日：

2018-07-13

发明(设计)人：

郭方准于荣环石晓倩董华军臧侃

申请人：

申请人地址：

116028 辽宁省大连市沙河口区黄河路794号

IPC主分类号：

H01J2702

IPC分类号：

H01J2726

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

李馨

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-07	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 27/02 申请日:20180321
2018-11-13	发明专利申请公布后的撤回	发明专利申请公布后的撤回 IPC(主分类):H01J 27/02 申请公布日:20180713
2018-07-13	公开	公开

共 50 条

[1]

直流放电离子源 [P].

郭方准 ;

于荣环 ;

石晓倩 ;

董华军 ;

臧侃 .

中国专利 :CN207966915U ,2018-10-12

[2]

丝极放电离子源 [P].

马克西姆·马卡罗夫 ;

马克·梅斯特雷斯 .

中国专利 :CN101952931B ,2011-01-19

[3]

一种辉光放电离子源装置 [P].

刘湘生 ;

刘英 ;

潘元海 ;

李继东 ;

王长华 .

中国专利 :CN201590398U ,2010-09-22

[4]

大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源 [P].

汤洁 ;

段忆翔 ;

赵卫 ;

王屹山 ;

李静 ;

张同意 ;

王静 .

中国专利 :CN206432236U ,2017-08-22

[5]

大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源 [P].

汤洁 ;

段忆翔 ;

赵卫 ;

王屹山 ;

李静 ;

张同意 ;

王静 .

中国专利 :CN106601584A ,2017-04-26

[6]

潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机 [P].

祝宁 .

中国专利 :CN101886253A ,2010-11-17

[7]

一种稳定的直流放电负离子源 [P].

唐紫超 ;

秦正波 ;

张世宇 .

中国专利 :CN104282527A ,2015-01-14

[8]

一种用于气体放电离子源的供气系统 [P].

曹云 ;

张雪珍 ;

李家庆 .

中国专利 :CN115355438B ,2024-05-07

[9]

质谱计的封闭式气体放电离子源 [P].

毛福明 .

中国专利 :CN2195138Y ,1995-04-19

[10]

一种用于气体放电离子源的供气系统 [P].

曹云 ;

张雪珍 ;

李家庆 .

中国专利 :CN115355438A ,2022-11-18

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