一种用于气体放电离子源的供气系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210949825.2

申请日：

2022-08-09

公开(公告)号：

CN115355438B

公开(公告)日：

2024-05-07

发明(设计)人：

曹云张雪珍李家庆

申请人：

中国科学院近代物理研究所

申请人地址：

730013 甘肃省兰州市城关区南昌路509号

IPC主分类号：

F17C1/00

IPC分类号：

F17C13/00 F17C13/02 F17C13/04 F17C7/00 F17D1/02 F17D3/01

代理机构：

北京纪凯知识产权代理有限公司 11245

代理人：

朱燕鸥

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于气体放电离子源的供气系统 [P].

曹云 ;

张雪珍 ;

李家庆 .

中国专利 :CN115355438A ,2022-11-18

[2]

辉光放电离子源装置用供气系统 [P].

刘湘生 ;

刘英 ;

潘元海 ;

李继东 ;

王长华 .

中国专利 :CN201910396U ,2011-07-27

[3]

丝极放电离子源 [P].

马克西姆·马卡罗夫 ;

马克·梅斯特雷斯 .

中国专利 :CN101952931B ,2011-01-19

[4]

直流放电离子源 [P].

郭方准 ;

于荣环 ;

石晓倩 ;

董华军 ;

臧侃 .

中国专利 :CN207966915U ,2018-10-12

[5]

直流放电离子源 [P].

郭方准 ;

于荣环 ;

石晓倩 ;

董华军 ;

臧侃 .

中国专利 :CN108281340A ,2018-07-13

[6]

质谱计的封闭式气体放电离子源 [P].

毛福明 .

中国专利 :CN2195138Y ,1995-04-19

[7]

一种放电离子针 [P].

莫伟军 ;

陈强 ;

王海江 ;

陈科 ;

邓红博 .

中国专利 :CN209287270U ,2019-08-23

[8]

供气系统及离子源的供气方法 [P].

於鹏飞 ;

李飞逸 ;

汪东 .

中国专利 :CN113701050B ,2021-11-26

[9]

一种潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜电极 [P].

祝宁 .

中国专利 :CN201746583U ,2011-02-16

[10]

潘宁放电离子源柔性材料真空镀膜机 [P].

祝宁 .

中国专利 :CN101886253A ,2010-11-17

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