一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201911021320.4

申请日：

2019-10-25

公开(公告)号：

CN112708855B

公开(公告)日：

2021-04-27

发明(设计)人：

樊俊飞任三兵李山青

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区富锦路885号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

上海集信知识产权代理有限公司 31254

代理人：

洪玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-14	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20191025
2023-02-10	授权	授权
2021-04-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种具有抑流式喷嘴的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 ;

李山青 ;

张春伟 ;

金小礼 .

中国专利 :CN112553578B ,2021-03-26

[2]

一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 ;

李山青 ;

熊斐 ;

汪义如 .

中国专利 :CN112575308A ,2021-03-30

[3]

一种提高真空镀膜收得率的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 ;

李山青 ;

熊斐 ;

汪义如 .

中国专利 :CN112553577A ,2021-03-26

[4]

一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置 [P].

任三兵 .

中国专利 :CN112553579A ,2021-03-26

[5]

一种具有双隔板的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN112575294B ,2021-03-30

[6]

一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置 [P].

李山青 ;

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN113957390A ,2022-01-21

[7]

一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置 [P].

李山青 ;

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN113957390B ,2024-03-08

[8]

真空镀膜装置及其真空镀膜方法 [P].

熊丹 .

中国专利 :CN104120399A ,2014-10-29

[9]

真空镀膜夹具及真空镀膜装置 [P].

张杰 ;

李标章 ;

黄裕祥 .

中国专利 :CN215713345U ,2022-02-01

[10]

一种真空镀膜装置及真空镀膜方法 [P].

黄永长 ;

龙汝磊 ;

吴萍 .

中国专利 :CN116254507B ,2025-08-05

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