一种具有抑流式喷嘴的真空镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910915430.9

申请日：

2019-09-26

公开(公告)号：

CN112553578B

公开(公告)日：

2021-03-26

发明(设计)人：

任三兵樊俊飞李山青张春伟金小礼

申请人：

申请人地址：

201900 上海市宝山区富锦路885号

IPC主分类号：

C23C1426

IPC分类号：

代理机构：

上海集信知识产权代理有限公司 31254

代理人：

周成

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-26	公开	公开
2022-01-14	授权	授权
2021-04-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/26 申请日:20190926

共 50 条

[1]

一种具有导流式真空镀膜喷嘴的真空镀膜装置 [P].

樊俊飞 ;

任三兵 ;

李山青 .

中国专利 :CN112708855B ,2021-04-27

[2]

一种具有过滤及均匀化喷嘴的真空镀膜装置 [P].

任三兵 .

中国专利 :CN112553579A ,2021-03-26

[3]

一种能在真空下带钢高效镀膜的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 ;

李山青 ;

熊斐 ;

汪义如 .

中国专利 :CN112575308A ,2021-03-30

[4]

一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置 [P].

李山青 ;

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN113957390A ,2022-01-21

[5]

一种具有气垫缓冲腔的真空镀膜装置 [P].

李山青 ;

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN113957390B ,2024-03-08

[6]

一种具有双隔板的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 .

中国专利 :CN112575294B ,2021-03-30

[7]

一种提高真空镀膜收得率的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

樊俊飞 ;

李山青 ;

熊斐 ;

汪义如 .

中国专利 :CN112553577A ,2021-03-26

[8]

一种具有多孔降噪及均匀化分配金属蒸汽的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

李山青 ;

樊俊飞 ;

熊斐 ;

张春伟 .

中国专利 :CN113957389A ,2022-01-21

[9]

一种采用导流板式结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置 [P].

任三兵 ;

李山青 ;

樊俊飞 ;

熊斐 ;

金小礼 .

中国专利 :CN113957388B ,2022-01-21

[10]

一种轮毂的真空镀膜装置及真空镀膜方法 [P].

曾春华 .

中国专利 :CN114990513A ,2022-09-02

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