工件平整度检测装置及其检测方法

被引：0

申请号：

CN202210588198.4

申请日：

2022-05-26

公开(公告)号：

CN115014265A

公开(公告)日：

2022-09-06

发明(设计)人：

张正峰武旭东周振文

申请人：

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区胡埭镇银杏路6号

IPC主分类号：

G01B2130

IPC分类号：

代理机构：

无锡睿升知识产权代理事务所(普通合伙) 32376

代理人：

肖晨

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-06	公开	公开
2022-09-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 21/30 申请日:20220526

共 50 条

[1]

硅晶体工件平整度检测装置和硅晶体工件平整度检测方法 [P].

卢建伟 ;

蒋伟源 ;

李鑫 .

中国专利 :CN106940178A ,2017-07-11

[2]

工件平整度检测方法及装置 [P].

钟金生 .

中国专利 :CN105547199A ,2016-05-04

[3]

工件表面平整度检测装置 [P].

姜龙明 .

中国专利 :CN203083514U ,2013-07-24

[4]

平整度检测装置及其检测方法 [P].

黄国唐 ;

蔡雅惠 ;

吕尚杰 ;

张津魁 ;

郑智杰 ;

李韦辰 .

中国专利 :CN103575240B ,2014-02-12

[5]

工件平整度检测装置 [P].

李亮 ;

田兆明 ;

张新泉 ;

杨涛 .

中国专利 :CN220931949U ,2024-05-10

[6]

电脑风扇叶片平整度检测装置及其平整度检测方法 [P].

梁栋 ;

杨龙兴 ;

杨浩轩 ;

蒋新华 .

中国专利 :CN105352447B ,2016-02-24

[7]

平整度检测工装及平整度检测方法 [P].

徐宝家 ;

刘刚 ;

陈凯伦 ;

魏昌宏 ;

梁力兴 ;

沈银雷 ;

李魁 ;

王菁 .

中国专利 :CN115540726A ,2022-12-30

[8]

平整度检测设备、检测件和平整度检测方法 [P].

于子鹏 .

中国专利 :CN111272112A ,2020-06-12

[9]

平整度检测设备、检测件和平整度检测方法 [P].

于子鹏 .

中国专利 :CN111272112B ,2024-12-31

[10]

平整度检测装置及检测方法 [P].

彭崇荣 ;

邓少平 ;

李密 ;

刘东华 .

中国专利 :CN102305615A ,2012-01-04

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