平整度检测装置及其检测方法

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专利类型
发明
申请号
CN201210368108.7
申请日
2012-09-28
公开(公告)号
CN103575240B
公开(公告)日
2014-02-12
发明(设计)人
黄国唐 蔡雅惠 吕尚杰 张津魁 郑智杰 李韦辰
申请人
申请人地址
中国台湾新竹县
IPC主分类号
G01B1130
IPC分类号
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
陈小雯
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
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[3]
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[4]
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[5]
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[6]
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