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涡电流传感器的检测信号处理装置及检测信号处理方法、研磨装置

被引：0
申请号：
CN202210735955.6
申请日：
2022-06-27
公开(公告)号：
CN115597479A
公开(公告)日：
2023-01-13
发明(设计)人：
山田洋人 高桥太郎 涩江宏明
申请人：
申请人地址：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
IPC主分类号：
G01B706
IPC分类号：
G01B702 B24B37013 B24B37005
代理机构：
上海华诚知识产权代理有限公司 31300
代理人：
张丽颖
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2023-01-13 公开 公开
共 50 条
[1]
信号处理装置、信号处理方法和检测传感器 [P]. 
海津俊 ;
宫崎高大 .
日本专利 :CN115868172B ,2025-05-23
[2]
涡电流传感器、研磨装置及膜厚检测方法 [P]. 
高桥太郎 ;
德永晋平 .
日本专利 :CN118258427A ,2024-06-28
[3]
信号处理装置、传感器装置及信号处理方法 [P]. 
阿多大树 ;
山田圭一 ;
中村和彦 .
中国专利 :CN110088568B ,2019-08-02
[4]
涡电流传感器及研磨装置 [P]. 
山田洋人 ;
高桥太郎 ;
涩江宏明 .
中国专利 :CN114536214A ,2022-05-27
[5]
涡电流传感器及研磨装置 [P]. 
阿部敦史 ;
渡边和英 ;
高桥太郎 .
日本专利 :CN112171503B ,2024-07-02
[6]
涡电流传感器及研磨装置 [P]. 
阿部敦史 ;
渡边和英 ;
高桥太郎 .
中国专利 :CN112171503A ,2021-01-05
[7]
传感器信号处理方法及传感器信号处理装置 [P]. 
鲍里斯·P·科瓦特舍维 ;
克里斯托弗·瑞安·金 .
中国专利 :CN102440785A ,2012-05-09
[8]
涡电流传感器、涡电流传感器组装体和研磨装置 [P]. 
凑崎胜也 ;
高桥太郎 .
日本专利 :CN119063768A ,2024-12-03
[9]
膜厚信号处理装置、研磨装置、膜厚信号处理方法及研磨方法 [P]. 
中村显 .
中国专利 :CN107538339B ,2018-01-05
[10]
用于霍尔传感器的信号处理装置以及信号处理方法 [P]. 
多米尼克·鲁克 ;
格哈德·奥伯霍夫纳 .
中国专利 :CN110249533A ,2019-09-17
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