涡电流传感器及研磨装置

被引：0

申请号：

CN202111413479.8

申请日：

2021-11-25

公开(公告)号：

CN114536214A

公开(公告)日：

2022-05-27

发明(设计)人：

山田洋人高桥太郎涩江宏明

申请人：

申请人地址：

日本国东京都大田区羽田旭町11番1号

IPC主分类号：

B24B3734

IPC分类号：

B24B37005 B24B37013 B24B3710 B24B4910 B24B4904 H01L21304

代理机构：

上海华诚知识产权代理有限公司 31300

代理人：

张丽颖

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-05-27	公开	公开

共 50 条

[1]

涡电流传感器及研磨装置 [P].

阿部敦史 ;

渡边和英 ;

高桥太郎 .

日本专利 :CN112171503B ,2024-07-02

[2]

涡电流传感器及研磨装置 [P].

阿部敦史 ;

渡边和英 ;

高桥太郎 .

中国专利 :CN112171503A ,2021-01-05

[3]

涡电流传感器、涡电流传感器组装体和研磨装置 [P].

凑崎胜也 ;

高桥太郎 .

日本专利 :CN119063768A ,2024-12-03

[4]

涡电流传感器、研磨装置及膜厚检测方法 [P].

高桥太郎 ;

德永晋平 .

日本专利 :CN118258427A ,2024-06-28

[5]

涡电流传感器 [P].

中村显 .

中国专利 :CN106475906A ,2017-03-08

[6]

涡电流传感器 [P].

艾伦·卡尔·博尼齐 ;

史蒂夫·萨拉 .

中国专利 :CN205581321U ,2016-09-14

[7]

涡电流传感器以及研磨方法和装置 [P].

高桥太郎 ;

多田光男 .

中国专利 :CN103358222B ,2013-10-23

[8]

涡电流传感器组件 [P].

T·W·麦克格拉纳 ;

P·M·佩埃利 .

中国专利 :CN111692960A ,2020-09-22

[9]

涡电流传感器的检测信号处理装置及检测信号处理方法、研磨装置 [P].

山田洋人 ;

高桥太郎 ;

涩江宏明 .

中国专利 :CN115597479A ,2023-01-13

[10]

用于增材制造的涡电流传感器阵列和涡电流传感器系统 [P].

S·迈勒 ;

C·L·E·迪穆兰 ;

M·布里 .

中国专利 :CN111189907A ,2020-05-22

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