光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080013256.6

申请日：

2010-03-17

公开(公告)号：

CN102361896B

公开(公告)日：

2012-02-22

发明(设计)人：

仓久敏鲛岛香织国本和彦 P·内斯瓦德巴大和昌纪

申请人：

申请人地址：

德国路德维希港

IPC主分类号：

C08F26502

IPC分类号：

C08K532 C08K53435 C07D29524 G03F7039

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

刘金辉;林柏楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-10-07	授权	授权
2012-02-22	公开	公开
2012-05-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101237909751 IPC(主分类):C08F 265/02 专利申请号:2010800132566 申请日:20100317
2022-02-25	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C08F 265/02 申请日:20100317 授权公告日:20151007 终止日期:20210317

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

仓久敏 ;

鲛岛香织 ;

国本和彦 ;

P·内斯瓦德巴 ;

大和昌纪 .

中国专利 :CN105175315A ,2015-12-23

[2]

光致抗蚀剂树脂组合物 [P].

金奉玘 ;

柳盛文 ;

朴圣模 ;

朴赞硕 .

中国专利 :CN100535746C ,2005-11-09

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

朴贤旻 ;

林敏映 ;

李泰燮 .

中国专利 :CN110892325A ,2020-03-17

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

畑光宏 ;

增山达郎 .

中国专利 :CN101995769A ,2011-03-30

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

宫川贵行 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102081303A ,2011-06-01

[7]

正性光致抗蚀剂组合物 [P].

文奉锡 ;

金孝精 ;

金珍坤 ;

柳漾泫 ;

金敃志 ;

郑美敬 ;

柳权壹 ;

郑乐七 ;

金先镐 .

中国专利 :CN101116036B ,2008-01-30

[8]

光致抗蚀剂底层组合物 [P].

L-S·柯 ;

A·查韦斯 ;

山田晋太郎 .

美国专利 :CN116300309B ,2025-12-12

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 ;

坂本宏 .

中国专利 :CN106918990A ,2017-07-04

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023483A ,2011-04-20

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