光致抗蚀剂组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010247395.7

申请日：

2010-08-05

公开(公告)号：

CN101995769A

公开(公告)日：

2011-03-30

发明(设计)人：

畑光宏增山达郎

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

G03F7004

IPC分类号：

C08F22018 C08F22214 C07C22956 C07C22936 C07C22908 C07C22720 C07D20716 C07D29515

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

柳春琦

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-11-06	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101669658146 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010102473957 申请公布日:20110330
2011-03-30	公开	公开
2012-07-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101292722789 IPC(主分类):G03F 7/004 专利申请号:2010102473957 申请日:20100805

共 50 条

[1]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

桥本和彦 ;

重松淳二 .

中国专利 :CN102043336A ,2011-05-04

[2]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

宫川贵行 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102081303A ,2011-06-01

[3]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

山口训史 .

中国专利 :CN102162995A ,2011-08-24

[4]

光致抗蚀剂组合物 [P].

市川幸司 ;

桥本和彦 ;

夏政焕 .

中国专利 :CN102053495A ,2011-05-11

[5]

光致抗蚀剂组合物 [P].

安藤信雄 ;

武元一树 .

中国专利 :CN102193313A ,2011-09-21

[6]

光致抗蚀剂组合物 [P].

杉原昌子 ;

西村崇 ;

坂本宏 .

中国专利 :CN106918990A ,2017-07-04

[7]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023483A ,2011-04-20

[8]

光致抗蚀剂组合物 [P].

增山达郎 ;

畑光宏 .

中国专利 :CN102023484A ,2011-04-20

[9]

光致抗蚀剂组合物 [P].

仓久敏 ;

鲛岛香织 ;

国本和彦 ;

P·内斯瓦德巴 ;

大和昌纪 .

中国专利 :CN102361896B ,2012-02-22

[10]

光致抗蚀剂组合物 [P].

仓久敏 ;

鲛岛香织 ;

国本和彦 ;

P·内斯瓦德巴 ;

大和昌纪 .

中国专利 :CN105175315A ,2015-12-23

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