互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980077502.5

申请日：

2019-10-21

公开(公告)号：

CN113169151B

公开(公告)日：

2021-07-23

发明(设计)人：

C·E·尤佐 G·G·小方丹 J·A·泰尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L23522

IPC分类号：

H01L23528 H01L23535 H01L23485 H01L21768 H01L2300 H01L21324

代理机构：

北京市金杜律师事务所 11256

代理人：

酆迅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-23	公开	公开
2022-05-03	授权	授权
2021-11-12	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/522 申请日:20191021

共 50 条

[1]

金属互连结构 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN208738214U ,2019-04-12

[2]

互连结构 [P].

黄蛟晟 ;

鍾良佐 ;

李承远 .

中国专利 :CN112992855A ,2021-06-18

[3]

互连结构 [P].

杨士亿 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN113451204A ,2021-09-28

[4]

互连结构 [P].

李书玮 ;

骆冠宇 ;

杨士亿 ;

李明翰 .

中国专利 :CN114864542A ,2022-08-05

[5]

互连结构用于生产该互连结构的方法 [P].

G·乌斯特灰斯 ;

H·H·马尔德林克 ;

A·瑞吉菲尔斯 ;

R·J·胡本 ;

C·M·B·范德索恩 ;

L·A·M·布劳沃斯 .

中国专利 :CN103328189A ,2013-09-25

[6]

互连结构及其制造方法 [P].

钟汇才 ;

朱慧珑 ;

赵超 .

中国专利 :CN105633012A ,2016-06-01

[7]

形成互连结构的方法及其形成的互连结构 [P].

杨智超 ;

K·K·H·黄 ;

N·R·克林科 ;

C·C·帕克斯 .

中国专利 :CN100495698C ,2007-09-19

[8]

互连结构和无电镀引入互连结构的方法 [P].

P·J·麦克格雷戈尔 ;

C·托马斯 ;

M·达塔 ;

V·杜宾 .

中国专利 :CN1484856A ,2004-03-24

[9]

增强的互连结构 [P].

C-c·杨 ;

H·S·杨 ;

K·K·H·沃恩格 ;

M·G·法奥奎 .

中国专利 :CN101523585B ,2009-09-02

[10]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

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