学术探索
学术期刊
学术作者
新闻热点
数据分析
智能评审

成膜装置以及成膜方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010325508.4
申请日：
2020-04-23
公开(公告)号：
CN111850471A
公开(公告)日：
2020-10-30
发明(设计)人：
小野大祐 伊藤昭彦
申请人：
申请人地址：
日本神奈川县横浜市荣区笠间二丁目5番1号(邮递区号:247-8610)
IPC主分类号：
C23C1414
IPC分类号：
C23C1434 C23C1456 C23C1458
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
杨贝贝;臧建明
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-10-30 公开 公开
2020-11-17 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/14 申请日:20200423
共 50 条
[1]
成膜装置及成膜方法 [P]. 
松中繁树 ;
藤田笃史 .
日本专利 :CN116057669B ,2025-03-21
[2]
成膜装置以及成膜方法 [P]. 
尾崎一人 .
中国专利 :CN109554671A ,2019-04-02
[3]
成膜方法以及成膜装置 [P]. 
尾崎一人 .
中国专利 :CN109504944A ,2019-03-22
[4]
成膜方法以及成膜装置 [P]. 
森本直树 ;
滨口纯一 ;
堀田和正 ;
武田直树 .
中国专利 :CN102428209A ,2012-04-25
[5]
成膜装置以及成膜方法 [P]. 
小平周司 ;
吉浜知之 ;
镰田恒吉 ;
堀田和正 ;
滨口纯一 ;
中西茂雄 ;
丰田聪 .
中国专利 :CN102471877A ,2012-05-23
[6]
成膜装置以及成膜方法 [P]. 
三田浩史 ;
南云英一 ;
斋藤诚 .
中国专利 :CN105986252A ,2016-10-05
[7]
成膜装置以及成膜方法 [P]. 
鸟居博典 .
日本专利 :CN119546796A ,2025-02-28
[8]
成膜方法以及成膜装置 [P]. 
高桥丰 ;
村田昌弘 ;
加藤寿 .
中国专利 :CN108456870A ,2018-08-28
[9]
成膜装置以及成膜方法 [P]. 
市原正浩 .
日本专利 :CN120225723A ,2025-06-27
[10]
成膜方法以及成膜装置 [P]. 
山田一希 ;
加藤大辉 ;
大内健次 ;
松崎和爱 .
中国专利 :CN107068917B ,2017-08-18
12345