成膜方法以及成膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201611160263.4

申请日：

2016-12-15

公开(公告)号：

CN107068917B

公开(公告)日：

2017-08-18

发明(设计)人：

山田一希加藤大辉大内健次松崎和爱

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L5156

IPC分类号：

H01L5152 H05B3304

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

李洋;舒艳君

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-26	授权	授权
2017-08-18	公开	公开
2018-07-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 51/56 申请日:20161215

共 50 条

[1]

成膜方法、硼膜以及成膜装置 [P].

上田博一 ;

冈正浩 ;

石川拓 ;

渡部佳优 ;

米泽周平 .

中国专利 :CN108220922A ,2018-06-29

[2]

成膜方法、成膜系统以及成膜装置 [P].

山口克昌 ;

前川浩治 ;

鲛岛崇 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN112292476A ,2021-01-29

[3]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小野大祐 ;

伊藤昭彦 .

中国专利 :CN111850471A ,2020-10-30

[4]

成膜方法以及成膜装置 [P].

我妻雄一郎 ;

金子都 ;

野吕尚孝 .

中国专利 :CN109423625A ,2019-03-05

[5]

成膜装置以及成膜方法 [P].

小畑雄治 ;

冈部庸之 .

中国专利 :CN114606480A ,2022-06-10

[6]

成膜装置以及成膜方法 [P].

尾崎一人 .

中国专利 :CN109554671A ,2019-04-02

[7]

成膜装置以及成膜方法 [P].

三田浩史 ;

南云英一 ;

斋藤诚 .

中国专利 :CN105986252A ,2016-10-05

[8]

成膜装置以及成膜方法 [P].

军司勋男 .

中国专利 :CN102376549A ,2012-03-14

[9]

成膜装置以及成膜方法 [P].

竹泽由裕 ;

坂下训康 ;

中岛滋 .

中国专利 :CN108220921A ,2018-06-29

[10]

成膜装置以及成膜方法 [P].

鸟居博典 .

日本专利 :CN119546796A ,2025-02-28

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