曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200480022536.8

申请日：

2004-08-05

公开(公告)号：

CN1833309A

公开(公告)日：

2006-09-13

发明(设计)人：

柴崎祐一

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

中原信达知识产权代理有限责任公司

代理人：

钟强;关兆辉

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20040805 授权公告日:20090311 终止日期:20200805
2009-03-11	授权	授权
2006-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-09-13	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101504512A ,2009-08-12

[2]

载置台装置及曝光装置 [P].

江本圭司 .

中国专利 :CN1673872A ,2005-09-28

[3]

载台装置及曝光装置 [P].

青木保夫 .

中国专利 :CN1469193B ,2004-01-21

[4]

载台装置及曝光装置 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101138070A ,2008-03-05

[5]

载置台装置、图案形成装置、曝光装置、载置台驱动方法、曝光方法、以及器件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN102017072A ,2011-04-13

[6]

曝光装置、曝光方法及设备制造方法 [P].

佐佐木亮 .

中国专利 :CN105467772A ,2016-04-06

[7]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101685263A ,2010-03-31

[8]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN100552879C ,2007-02-21

[9]

定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN1612292B ,2005-05-04

[10]

曝光装置及载物台装置、以及器件制造方法 [P].

西健尔 ;

奥村正彦 ;

奥野浩生 .

中国专利 :CN1470945A ,2004-01-28

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