载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200580002269.2

申请日：

2005-01-27

公开(公告)号：

CN100552879C

公开(公告)日：

2007-02-21

发明(设计)人：

柴崎祐一

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京三友知识产权代理有限公司

代理人：

任默闻

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-04-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2009-10-21	授权	授权
2007-02-21	公开	公开

共 50 条

[1]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101685263A ,2010-03-31

[2]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111587A ,2014-10-22

[3]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN101755188A ,2010-06-23

[4]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111589A ,2014-10-22

[5]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111588A ,2014-10-22

[6]

基底、载物台装置、载物台驱动方法和曝光装置及曝光方法 [P].

高桥正人 .

中国专利 :CN1373900A ,2002-10-09

[7]

载台系统及曝光装置,以及元件制造方法 [P].

西健尔 .

中国专利 :CN1484850A ,2004-03-24

[8]

曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101504512A ,2009-08-12

[9]

曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN1833309A ,2006-09-13

[10]

载置台装置、图案形成装置、曝光装置、载置台驱动方法、曝光方法、以及器件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN102017072A ,2011-04-13

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