基底、载物台装置、载物台驱动方法和曝光装置及曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN99816934.X

申请日：

1999-10-07

公开(公告)号：

CN1373900A

公开(公告)日：

2002-10-09

发明(设计)人：

高桥正人

申请人：

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

G03F720

代理机构：

北京三幸商标专利事务所

代理人：

刘激扬

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-05	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101028891184 IPC(主分类):H01L 21/027 专利号:ZL99816934X 申请日:19991007 授权公告日:20060621 终止日期:20091109
2006-06-21	授权	授权
2002-09-18	实质审查的生效	实质审查的生效
2002-10-09	公开	公开

共 50 条

[1]

定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN1612292B ,2005-05-04

[2]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101685263A ,2010-03-31

[3]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN100552879C ,2007-02-21

[4]

曝光装置及载物台装置、以及器件制造方法 [P].

西健尔 ;

奥村正彦 ;

奥野浩生 .

中国专利 :CN1470945A ,2004-01-28

[5]

载物装置及曝光装置 [P].

伍强 ;

郝静安 .

中国专利 :CN103186054A ,2013-07-03

[6]

载台装置及曝光装置 [P].

青木保夫 .

中国专利 :CN1469193B ,2004-01-21

[7]

载台装置及曝光装置 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101138070A ,2008-03-05

[8]

载置台装置、图案形成装置、曝光装置、载置台驱动方法、曝光方法、以及器件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN102017072A ,2011-04-13

[9]

轴承装置、载台装置及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN101040126A ,2007-09-19

[10]

曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101504512A ,2009-08-12

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