载物装置及曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110459299.3

申请日：

2011-12-31

公开(公告)号：

CN103186054A

公开(公告)日：

2013-07-03

发明(设计)人：

伍强郝静安

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G03F900

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-07-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101499123815 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2011104592993 申请日:20111231
2013-07-03	公开	公开
2014-12-24	授权	授权

共 50 条

[1]

基底、载物台装置、载物台驱动方法和曝光装置及曝光方法 [P].

高桥正人 .

中国专利 :CN1373900A ,2002-10-09

[2]

定盘、载物台装置及曝光装置以及曝光方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN1612292B ,2005-05-04

[3]

曝光装置及载物台装置、以及器件制造方法 [P].

西健尔 ;

奥村正彦 ;

奥野浩生 .

中国专利 :CN1470945A ,2004-01-28

[4]

载台装置及曝光装置 [P].

青木保夫 .

中国专利 :CN1469193B ,2004-01-21

[5]

载台装置及曝光装置 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101138070A ,2008-03-05

[6]

载置台装置及曝光装置 [P].

江本圭司 .

中国专利 :CN1673872A ,2005-09-28

[7]

轴承装置、载台装置及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN101040126A ,2007-09-19

[8]

一种曝光装置的产品载物台 [P].

马迪 ;

吴景舟 ;

陈亮 ;

林全海 ;

徐维良 ;

韩奥琪 ;

顾舜 ;

邹建军 .

中国专利 :CN210348196U ,2020-04-17

[9]

曝光装置及曝光方法 [P].

伍强 ;

郝静安 ;

刘畅 ;

姚欣 ;

李天慧 ;

舒强 ;

顾一鸣 .

中国专利 :CN103246170B ,2013-08-14

[10]

曝光方法及曝光装置、载置台装置、及设备制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101504512A ,2009-08-12

← 1 2 3 4 5 →