测量方法、载台装置、及曝光装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200880025096.X

申请日：

2008-07-16

公开(公告)号：

CN101755188A

公开(公告)日：

2010-06-23

发明(设计)人：

荒井大

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G01B1100

IPC分类号：

G01B902 G03F720 H01L21027

代理机构：

北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019

代理人：

寿宁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-09-08	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101005458536 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:200880025096X 申请日:20080716
2017-01-04	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101744223558 IPC(主分类):G01B 11/00 专利申请号:200880025096X 申请公布日:20100623
2010-06-23	公开	公开

共 50 条

[1]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111588A ,2014-10-22

[2]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111589A ,2014-10-22

[3]

测量方法、载台装置、及曝光装置 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN104111587A ,2014-10-22

[4]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105652603A ,2016-06-08

[5]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105301918A ,2016-02-03

[6]

曝光装置、曝光方法、及元件制造方法 [P].

荒井大 .

中国专利 :CN105487351A ,2016-04-13

[7]

测量方法、测量装置、曝光方法及曝光装置 [P].

小林满 ;

安田雅彦 .

中国专利 :CN100463108C ,2007-05-09

[8]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN101685263A ,2010-03-31

[9]

载台驱动方法及载台装置、曝光装置、及元件制造方法 [P].

柴崎祐一 .

中国专利 :CN100552879C ,2007-02-21

[10]

焦点测试光罩、焦点测量方法、曝光装置、及曝光方法 [P].

蛭川茂 ;

近藤信二郎 .

中国专利 :CN102597873A ,2012-07-18

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