基板处理设备及使用其的基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510083347.8

申请日：

2005-07-12

公开(公告)号：

CN100543537C

公开(公告)日：

2006-01-25

发明(设计)人：

李荣植金基铉赵弘济林官泽李在敬

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

G02F11333

IPC分类号：

B05B300

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

李晓舒;魏晓刚

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-23	授权	授权
2012-12-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101481144426 IPC(主分类):G02F 1/1333 专利号:ZL2005100833478 变更事项:专利权人变更前权利人:三星电子株式会社变更后权利人:三星显示有限公司变更事项:地址变更前权利人:韩国京畿道变更后权利人:韩国京畿道登记生效日:20121106
2022-06-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G02F 1/1333 申请日:20050712 授权公告日:20090923 终止日期:20210712
2006-03-22	实质审查的生效	实质审查的生效
2006-01-25	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理设备及使用其的基板处理方法 [P].

李荣植 ;

金基铉 ;

赵弘济 ;

林官泽 ;

李在敬 .

中国专利 :CN101615576A ,2009-12-30

[2]

基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法 [P].

丁荣贤 ;

成乐范 .

中国专利 :CN110176427A ,2019-08-27

[3]

基板处理设备以及使用基板处理设备的方法 [P].

曹生贤 .

中国专利 :CN109923688B ,2019-06-21

[4]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

徐元范 ;

金龙植 ;

蔡熙善 .

中国专利 :CN104701216A ,2015-06-10

[5]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

郑多云 ;

白寅雨 ;

郑镇安 .

韩国专利 :CN117616547A ,2024-02-27

[6]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李智暎 ;

郑映大 ;

郑智训 ;

金泰信 ;

金源根 .

中国专利 :CN114188239A ,2022-03-15

[7]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

朴锺范 .

中国专利 :CN104851824B ,2015-08-19

[8]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李锺澯 ;

金建锺 ;

刘光星 ;

尹锡俊 .

韩国专利 :CN113223914B ,2024-03-26

[9]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

朴正薰 ;

金润相 ;

全珉星 ;

赵顺天 ;

崔圣慜 ;

洪镇熙 .

韩国专利 :CN114999882B ,2025-08-12

[10]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李智勋 ;

金钟植 .

韩国专利 :CN115135802B ,2025-03-14

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