基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810662922.7

申请日：

2018-06-25

公开(公告)号：

CN110176427A

公开(公告)日：

2019-08-27

发明(设计)人：

丁荣贤成乐范

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京律智知识产权代理有限公司 11438

代理人：

阚梓瑄;王卫忠

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/687 申请日:20180625
2019-08-27	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

韩基元 ;

金喜赞 .

韩国专利 :CN119008451A ,2024-11-22

[2]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

张重贤 ;

金春植 ;

徐昌植 .

中国专利 :CN102969223A ,2013-03-13

[3]

基板处理设备及使用其的基板处理方法 [P].

李荣植 ;

金基铉 ;

赵弘济 ;

林官泽 ;

李在敬 .

中国专利 :CN100543537C ,2006-01-25

[4]

基板处理设备及使用其的基板处理方法 [P].

李荣植 ;

金基铉 ;

赵弘济 ;

林官泽 ;

李在敬 .

中国专利 :CN101615576A ,2009-12-30

[5]

基板处理设备以及使用基板处理设备的方法 [P].

曹生贤 .

中国专利 :CN109923688B ,2019-06-21

[6]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

徐元范 ;

金龙植 ;

蔡熙善 .

中国专利 :CN104701216A ,2015-06-10

[7]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

郑多云 ;

白寅雨 ;

郑镇安 .

韩国专利 :CN117616547A ,2024-02-27

[8]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李智暎 ;

郑映大 ;

郑智训 ;

金泰信 ;

金源根 .

中国专利 :CN114188239A ,2022-03-15

[9]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

朴锺范 .

中国专利 :CN104851824B ,2015-08-19

[10]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李锺澯 ;

金建锺 ;

刘光星 ;

尹锡俊 .

韩国专利 :CN113223914B ,2024-03-26

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