基板处理设备和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410590601.6

申请日：

2024-05-13

公开(公告)号：

CN119008451A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

韩基元金喜赞

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/677 G03F7/20

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

钟锦舜;童剑雄

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法 [P].

丁荣贤 ;

成乐范 .

中国专利 :CN110176427A ,2019-08-27

[2]

基板处理设备和基板传送方法 [P].

李承培 .

中国专利 :CN114496699A ,2022-05-13

[3]

基板处理设备和方法 [P].

柳帝爀 ;

刘在炅 ;

姜正贤 .

中国专利 :CN111403312A ,2020-07-10

[4]

基板处理设备 [P].

朴相玄 ;

李承桓 ;

安粹真 ;

林建烨 ;

辛辰基 ;

姜东勋 ;

金铉守 ;

金光洙 ;

吴昌石 ;

李营濬 .

韩国专利 :CN119028870A ,2024-11-26

[5]

基板传送设备和基板处理设备 [P].

金秉奎 ;

孙德铉 .

中国专利 :CN112687598A ,2021-04-20

[6]

基板传送设备和基板处理设备 [P].

金秉奎 ;

孙德铉 .

韩国专利 :CN112687598B ,2025-04-25

[7]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

金光烈 ;

金润相 ;

洪镇熙 .

韩国专利 :CN117352420A ,2024-01-05

[8]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

丁星赫 ;

张容硕 .

韩国专利 :CN118263160A ,2024-06-28

[9]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

林成珉 .

中国专利 :CN114639617A ,2022-06-17

[10]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

崔龙贤 ;

朴正善 ;

许弼覠 .

中国专利 :CN103456663A ,2013-12-18

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