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基板处理设备和基板处理方法
被引：0
申请号：
CN202111529802.8
申请日：
2021-12-14
公开(公告)号：
CN114639617A
公开(公告)日：
2022-06-17
发明(设计)人：
林成珉
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;刘烽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-05 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211214 |
| 2022-06-17 | 公开 | 公开 |