基板处理设备和基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410731764.1

申请日：

2024-06-06

公开(公告)号：

CN119108306A

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

沈秉禹李福圭

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

钟锦舜;赵嫦

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

金光烈 ;

金润相 ;

洪镇熙 .

韩国专利 :CN117352420A ,2024-01-05

[2]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

丁星赫 ;

张容硕 .

韩国专利 :CN118263160A ,2024-06-28

[3]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

林成珉 .

中国专利 :CN114639617A ,2022-06-17

[4]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

崔龙贤 ;

朴正善 ;

许弼覠 .

中国专利 :CN103456663A ,2013-12-18

[5]

基板处理方法和基板处理设备 [P].

赵一衡 ;

金德镐 ;

黄喆周 .

韩国专利 :CN114901861B ,2025-02-28

[6]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

金基峰 ;

吴承勋 ;

李暎熏 .

韩国专利 :CN118263151A ,2024-06-28

[7]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

曹源泰 ;

黄喆周 .

韩国专利 :CN120569514A ,2025-08-29

[8]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

韩基元 ;

金喜赞 .

韩国专利 :CN119008451A ,2024-11-22

[9]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

朴珉贞 ;

李正悦 ;

闵忠基 ;

徐庚进 .

中国专利 :CN113964054A ,2022-01-21

[10]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

佐藤谦治 ;

佐藤登 ;

佐藤淳 .

中国专利 :CN105513998A ,2016-04-20

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