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基板处理设备和基板处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201510664584.7
申请日：
2015-10-14
公开(公告)号：
CN105513998A
公开(公告)日：
2016-04-20
发明(设计)人：
佐藤谦治
佐藤登
佐藤淳
申请人：
申请人地址：
日本埼玉县
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
C23F108
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2016-05-18 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101660909536 IPC(主分类):H01L 21/67 专利申请号:2015106645847 申请日:20151014 |
| 2018-07-27 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20160420 |
| 2016-04-20 | 公开 | 公开 |