基板传送设备和基板处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011118584.4

申请日：

2020-10-19

公开(公告)号：

CN112687598B

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

金秉奎孙德铉

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

北京市中伦律师事务所 11410

代理人：

钟锦舜

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	授权	授权

共 50 条

[1]

基板传送设备和基板处理设备 [P].

金秉奎 ;

孙德铉 .

中国专利 :CN112687598A ,2021-04-20

[2]

基板传送设备、基板处理设备和基板传送方法 [P].

韩基元 ;

崔炳斗 .

中国专利 :CN114078725A ,2022-02-22

[3]

基板处理设备和基板传送方法 [P].

李承培 .

中国专利 :CN114496699A ,2022-05-13

[4]

基板处理设备和基板处理方法 [P].

韩基元 ;

金喜赞 .

韩国专利 :CN119008451A ,2024-11-22

[5]

基板处理设备和基板传送机器人 [P].

尹堵铉 ;

李龙熙 ;

郑镇优 ;

朴美昭 .

中国专利 :CN115376963A ,2022-11-22

[6]

基板处理设备及基板传送方法 [P].

河宗义 .

中国专利 :CN102969258B ,2013-03-13

[7]

用于基板处理设备的基板托盘传送系统 [P].

栗田真一 ;

阿部忍 ;

申昌憙 ;

小若雅彦 ;

蔡容基 .

中国专利 :CN115335977A ,2022-11-11

[8]

基板传送设备、包括所述基板传送设备的基板处理设备以及基板未对准补偿方法 [P].

金德植 ;

金贤俊 .

中国专利 :CN110581090A ,2019-12-17

[9]

基板处理设备和方法 [P].

柳帝爀 ;

刘在炅 ;

姜正贤 .

中国专利 :CN111403312A ,2020-07-10

[10]

基板处理设备 [P].

崔大雄 ;

权五喆 ;

金贤哲 ;

朴珍洪 ;

朴峻瑛 .

韩国专利 :CN120834036A ,2025-10-24

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