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基板处理设备和基板传送机器人

被引：0
申请号：
CN202210541134.9
申请日：
2022-05-17
公开(公告)号：
CN115376963A
公开(公告)日：
2022-11-22
发明(设计)人：
尹堵铉 李龙熙 郑镇优 朴美昭
申请人：
申请人地址：
韩国忠清南道
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
代理机构：
北京市中伦律师事务所 11410
代理人：
钟锦舜;刘烽
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-11-22 公开 公开
2022-12-09 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220517
共 50 条
[1]
基板传送机器人 [P]. 
郑准模 ;
金溶午 ;
韩基灿 .
中国专利 :CN101298143A ,2008-11-05
[2]
传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置 [P]. 
金相吴 ;
宋峻浩 ;
李明振 ;
边熙宰 .
中国专利 :CN112151412A ,2020-12-29
[3]
传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置 [P]. 
金相吴 ;
宋峻浩 ;
李明振 ;
边熙宰 .
韩国专利 :CN112151412B ,2024-03-26
[4]
传送机器人、传送单元和传送机器人系统 [P]. 
梁东勋 .
韩国专利 :CN119381312A ,2025-01-28
[5]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115519526A ,2022-12-27
[6]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115483125B ,2025-07-11
[7]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115519526B ,2024-08-02
[8]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115483125A ,2022-12-16
[9]
传送机器人 [P]. 
古市昌稔 .
中国专利 :CN103227131A ,2013-07-31
[10]
传送机器人 [P]. 
游金龙 .
中国专利 :CN305596679S ,2020-02-07
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