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用于在真空室内传送基板的基板传送机器人

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202210452883.4
申请日：
2022-04-27
公开(公告)号：
CN115519526B
公开(公告)日：
2024-08-02
发明(设计)人：
李寿钟 金明辰 李昌成 白承煐 池昌弦 咸相辉 许文纪 朴宰炫 李太韩
申请人：
株式会社T-ROBOTICS
申请人地址：
韩国京畿道乌山市
IPC主分类号：
B25J9/00
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
延美花;黄健
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-08-02 授权 授权
共 50 条
[1]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115519526A ,2022-12-27
[2]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115483125B ,2025-07-11
[3]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115483125A ,2022-12-16
[4]
基板传送机器人 [P]. 
郑准模 ;
金溶午 ;
韩基灿 .
中国专利 :CN101298143A ,2008-11-05
[5]
基板处理设备和基板传送机器人 [P]. 
尹堵铉 ;
李龙熙 ;
郑镇优 ;
朴美昭 .
中国专利 :CN115376963A ,2022-11-22
[6]
传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置 [P]. 
金相吴 ;
宋峻浩 ;
李明振 ;
边熙宰 .
中国专利 :CN112151412A ,2020-12-29
[7]
传送机器人和具有上述传送机器人的基板处理装置 [P]. 
金相吴 ;
宋峻浩 ;
李明振 ;
边熙宰 .
韩国专利 :CN112151412B ,2024-03-26
[8]
传送机器人、传送单元和传送机器人系统 [P]. 
梁东勋 .
韩国专利 :CN119381312A ,2025-01-28
[9]
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115483126A ,2022-12-16
[10]
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115527905A ,2022-12-27
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