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一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人

被引：0
申请号：
CN202210452884.9
申请日：
2022-04-27
公开(公告)号：
CN115527905A
公开(公告)日：
2022-12-27
发明(设计)人：
李寿钟 金明辰 李昌成 白承煐 池昌弦 咸相辉 许文纪 朴宰炫 李太韩
申请人：
申请人地址：
韩国京畿道乌山市
IPC主分类号：
H01L21677
IPC分类号：
H01L21687
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
延美花;刘芳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-12-27 公开 公开
2023-01-13 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20220427
共 50 条
[1]
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115483126A ,2022-12-16
[2]
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115527905B ,2025-02-18
[3]
一种用于将基板传送机器人在真空室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115483126B ,2025-03-14
[4]
一种用于使基板传送机器人在传送室内行走的行走机器人 [P]. 
李寿钟 ;
崔恩载 ;
金贤珠 ;
金峻莹 .
韩国专利 :CN115958573B ,2024-10-29
[5]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115519526A ,2022-12-27
[6]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115519526B ,2024-08-02
[7]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
中国专利 :CN115483125A ,2022-12-16
[8]
用于在真空室内传送基板的基板传送机器人 [P]. 
李寿钟 ;
金明辰 ;
李昌成 ;
白承煐 ;
池昌弦 ;
咸相辉 ;
许文纪 ;
朴宰炫 ;
李太韩 .
韩国专利 :CN115483125B ,2025-07-11
[9]
管道内行走机器人 [P]. 
李茂林 ;
姜秉权 ;
金基善 ;
朴洙种 ;
崔哲熏 .
中国专利 :CN110520253B ,2019-11-29
[10]
管内行走机器人 [P]. 
李元宗 ;
史贵柱 ;
郑利红 ;
李宏艳 ;
荣国宏 .
中国专利 :CN1114926A ,1996-01-17
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