基板处理设备及基板处理方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210311186.3

申请日：

2012-08-29

公开(公告)号：

CN102969223A

公开(公告)日：

2013-03-13

发明(设计)人：

张重贤金春植徐昌植

申请人：

申请人地址：

韩国忠清南道

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167 H01L21677

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

杨生平;钟锦舜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-04-10	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101433997607 IPC(主分类):H01L 21/02 专利申请号:2012103111863 申请日:20120829
2016-01-13	授权	授权
2013-03-13	公开	公开

共 50 条

[1]

基板处理设备及基板传送方法 [P].

河宗义 .

中国专利 :CN102969258B ,2013-03-13

[2]

基板处理设备及使用该基板处理设备的基板处理方法 [P].

丁荣贤 ;

成乐范 .

中国专利 :CN110176427A ,2019-08-27

[3]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

徐元范 ;

金龙植 ;

蔡熙善 .

中国专利 :CN104701216A ,2015-06-10

[4]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

郑多云 ;

白寅雨 ;

郑镇安 .

韩国专利 :CN117616547A ,2024-02-27

[5]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李智暎 ;

郑映大 ;

郑智训 ;

金泰信 ;

金源根 .

中国专利 :CN114188239A ,2022-03-15

[6]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

朴锺范 .

中国专利 :CN104851824B ,2015-08-19

[7]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李锺澯 ;

金建锺 ;

刘光星 ;

尹锡俊 .

韩国专利 :CN113223914B ,2024-03-26

[8]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

朴正薰 ;

金润相 ;

全珉星 ;

赵顺天 ;

崔圣慜 ;

洪镇熙 .

韩国专利 :CN114999882B ,2025-08-12

[9]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

李智勋 ;

金钟植 .

韩国专利 :CN115135802B ,2025-03-14

[10]

基板处理设备及基板处理方法 [P].

姜云圭 ;

金成彦 .

中国专利 :CN103094159B ,2013-05-08

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