一种晶片边缘抛光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120306324.3

申请日：

2021-02-03

公开(公告)号：

CN214979847U

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

朱亮沈文杰谢龙辉谢永旭陈明倪少博张帅曹建伟

申请人：

申请人地址：

312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号

IPC主分类号：

B24B906

IPC分类号：

B24B2902 B24B5702 B24B4106 B24B4712 H01L2167

代理机构：

杭州中成专利事务所有限公司 33212

代理人：

周世骏

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片边缘抛光装置和抛光方法 [P].

朱亮 ;

沈文杰 ;

谢龙辉 ;

谢永旭 ;

陈明 ;

倪少博 ;

张帅 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN112872960A ,2021-06-01

[2]

一种晶片边缘抛光装置和抛光方法 [P].

朱亮 ;

沈文杰 ;

谢龙辉 ;

谢永旭 ;

陈明 ;

倪少博 ;

张帅 ;

曹建伟 .

中国专利 :CN112872960B ,2025-02-18

[3]

一种高精度定位晶片边缘表面抛光装置 [P].

朱亮 ;

沈文杰 ;

谢龙辉 ;

谢永旭 ;

陈明 ;

倪少博 ;

傅林坚 ;

汤承伟 .

中国专利 :CN215967920U ,2022-03-08

[4]

一种晶片抛光装置 [P].

凌波 ;

王波 .

中国专利 :CN220637408U ,2024-03-22

[5]

一种晶片边缘表面抛光装置 [P].

宋青福 ;

蔡昱明 ;

王湙鈜 .

中国专利 :CN221676690U ,2024-09-10

[6]

晶片抛光装置 [P].

奚耀华 ;

夏澍 ;

刘启栋 .

中国专利 :CN201989033U ,2011-09-28

[7]

晶片抛光装置 [P].

奚耀华 ;

夏澍 ;

刘启栋 .

中国专利 :CN102152218A ,2011-08-17

[8]

一种石英晶片抛光装置 [P].

李直荣 .

中国专利 :CN210046503U ,2020-02-11

[9]

一种硅片边缘抛光装置 [P].

聂阳 .

中国专利 :CN216542412U ,2022-05-17

[10]

一种半导体晶片抛光装置 [P].

纪双涛 ;

孙士龙 ;

王鑫 ;

李亚平 .

中国专利 :CN222831505U ,2025-05-06

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