晶片抛光装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201020690006.3
申请日
2010-12-30
公开(公告)号
CN201989033U
公开(公告)日
2011-09-28
发明(设计)人
奚耀华 夏澍 刘启栋
申请人
申请人地址
266114 山东省青岛市城阳区岙东路上马段1号高新技术产业开发区
IPC主分类号
B24B2902
IPC分类号
代理机构
青岛发思特专利商标代理有限公司 37212
代理人
巩同海
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
晶片抛光装置 [P]. 
奚耀华 ;
夏澍 ;
刘启栋 .
中国专利 :CN102152218A ,2011-08-17
[2]
蓝宝石晶片的抛光装置 [P]. 
周亮 ;
翟虎 ;
林宏达 ;
孙金梅 .
中国专利 :CN221676853U ,2024-09-10
[3]
晶片抛光装置 [P]. 
卢建平 ;
郑加镇 .
中国专利 :CN210189400U ,2020-03-27
[4]
晶片抛光装置 [P]. 
隣真一 .
中国专利 :CN1135397A ,1996-11-13
[5]
一种晶片抛光装置 [P]. 
刘胜男 .
中国专利 :CN213970605U ,2021-08-17
[6]
一种晶片抛光装置 [P]. 
凌波 ;
王波 .
中国专利 :CN220637408U ,2024-03-22
[7]
晶片快速抛光装置 [P]. 
夏秋良 .
中国专利 :CN205497195U ,2016-08-24
[8]
石英晶片抛光装置 [P]. 
赵海峰 .
中国专利 :CN218312738U ,2023-01-17
[9]
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唐坤 ;
陈鑫 ;
高艳庄 .
中国专利 :CN208913851U ,2019-05-31
[10]
晶片抛光装置及晶片抛光方法 [P]. 
吴伟立 ;
张志暐 ;
梁修启 ;
余文怀 ;
徐文庆 .
中国专利 :CN115707558B ,2025-09-26