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一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120380355.3
申请日：
2021-02-19
公开(公告)号：
CN215569725U
公开(公告)日：
2022-01-18
发明(设计)人：
袁小林
申请人：
申请人地址：
362100 福建省泉州市惠安县螺阳镇城南工业区站前路19号
IPC主分类号：
F17C1304
IPC分类号：
F17C1300
代理机构：
泉州市文华专利代理有限公司 35205
代理人：
陈云川
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-01-18 | 授权 | 授权 |